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PSD 位置敏感探测器(Position- Sensitive Detector)

是一 种基于横向光电效应探测光点重心位置坐标信息的半导体器件.

具有分辨率高、响应速度快、信号处理简单等优点，

特别适用于位移、距离、角度以及可以间接转化为光点位置或位移的其他物理量的非接触高精度快速测量及准直测量。

目前已广泛应用于工件的位移、尺寸、表面状态及振动、偏心、间隙、冲程等运动状态的在线检测，空间三维位姿检测，机器人测距( 替代超声视觉传感器)等方面。